検査機器に関する懇話会メンバー
| （座長） | 一村 信吾 | (独)産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門長 | |
| 大谷 知行 | (独)理化学研究所テラヘルツ光研究グループ テラヘルツイメージング研究チームリーダー | ||
| 川瀬 晃道 | 名古屋大学エコトピア科学研究所教授 | ||
| 越 光男 | 東京大学大学院工学系研究科特任教授 | ||
| 下井 信浩 | 秋田県立大学システム科学技術学部教授 | ||
| 鈴木 良一 | (独)産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門 極微欠陥評価研究グループ長 | ||
| 都甲 潔 | 九州大学大学院システム情報科学研究院長 | ||
| 吉川 潔 | 京都大学理事・副学長 | ||
| （敬称略、５０音順） |
